Nome e funzione di ciascuna parte del microscopio confocale
Basato sul principio della tecnologia confocale, il microscopio confocale viene utilizzato per misurare la superficie di vari dispositivi e materiali di precisione a livello micro e nano e può visualizzare direttamente la morfologia superficiale dei campioni di materiale, con una risoluzione laterale fino a 1 nm e una risoluzione dell'asse Z fino a 0,5 nm. Non solo può misurare la morfologia superficiale del campione e fornire la funzione di caratterizzazione della morfologia microscopica della misurazione della dimensione del profilo, ma fornisce anche cinque principali funzioni analitiche, come analisi della rugosità, analisi del profilo geometrico, analisi strutturale, analisi di frequenza e analisi funzionale analisi. Vengono inoltre fornite analisi di rugosità, analisi del profilo geometrico, analisi strutturale, analisi di frequenza e analisi funzionale.
L'analisi della rugosità include l'analisi dei parametri completi secondo la rugosità della linea ISO4287, la rugosità superficiale ISO25178, la planarità ISO12781, ecc.; l'analisi del contorno geometrico comprende la misurazione dell'altezza del gradino, della distanza, dell'angolo, della curvatura e di altre caratteristiche e la valutazione della rettilineità, della rotondità e della tolleranza della forma; l'analisi strutturale comprende il volume dei fori e la profondità della vasca, ecc.; l'analisi in frequenza comprende la direzione delle venature e l'analisi dello spettro; l'analisi funzionale comprende l'analisi della direzione e dello spettro di frequenza; l'analisi della frequenza comprende l'analisi della direzione e dello spettro di frequenza; ed è disponibile anche l'analisi funzionale. L'analisi della frequenza include la direzione della trama e l'analisi dello spettro; L'analisi funzionale include parametri SK e parametri di volume.
La struttura del microscopio confocale è costituita principalmente da: microscopio, sorgente di luce laser, dispositivo di scansione, rilevatore, sistema informatico (inclusa acquisizione dati, elaborazione, conversione, software applicativo), dispositivo di output delle immagini, dispositivo ottico e sistema confocale.
Nel campo dell'ispezione della produzione e della scienza dei materiali, dei metalli, dei semiconduttori, dei chip e di altri materiali, il microscopio confocale ha una vasta gamma di applicazioni. Microscopio confocale basato sul principio della microscopia confocale, scansione senza contatto della superficie del dispositivo e creazione dell'immagine 3D della superficie, attraverso il software di sistema sull'elaborazione e analisi dei dati dell'immagine 3D della superficie del dispositivo, in modo da ottenere il 2D, 3D parametri che riflettono la qualità della superficie del dispositivo, per ottenere la misurazione 3D della morfologia della superficie del dispositivo.
Può essere ampiamente utilizzato nella produzione di semiconduttori e nell'ispezione del processo di imballaggio, schermo in vetro elettronico 3C e relative parti di precisione, elaborazione ottica, produzione di micro-nanomateriali, parti automobilistiche, dispositivi MEMS e altri settori di lavorazione di ultra-precisione e aerospaziale, istituti di ricerca scientifica e altri campi. Misurare e analizzare il profilo della superficie, i difetti superficiali, l'usura, la corrosione, la planarità, la ruvidità, l'ondulazione, la pulizia dei pori, l'altezza del gradino, la deformazione da flessione, la lavorazione e altre caratteristiche superficiali di vari prodotti, componenti e superfici dei materiali.
