Presentazione di un microscopio a forza atomica automatizzato come mai prima d'ora
Il sistema di microscopio automatico a forza atomica NX-3DM lanciato da Park Systems è appositamente progettato per il contorno sporgente, l'imaging ad alta risoluzione della parete laterale e la misurazione dell'angolo critico. Con l'esclusivo sistema di scansione indipendente dell'asse XY e dell'asse Z e lo scanner inclinabile dell'asse Z, NX-3DM supera con successo le sfide poste dalle teste normali e svasate nell'analisi accurata della parete laterale. In modalità True Non-Contact™, NX-3DM consente la misurazione non distruttiva di fotoresist morbidi con punte ad alto rapporto di aspetto.
precisione senza precedenti
Man mano che i semiconduttori diventano più piccoli, i progetti ora devono essere su scala nanometrica, ma gli strumenti di misurazione tradizionali non possono fornire la precisione richiesta per la progettazione e la produzione su scala nanometrica. Affrontando questa sfida di misurazione del settore, Park AFM ha compiuto molti progressi tecnologici, come l'eliminazione del crosstalk, che può ottenere immagini prive di artefatti e non distruttive; il nuovo AFM 3D rende possibile l'imaging ad alta risoluzione delle caratteristiche dei fianchi e dei sottosquadri.
produttività senza precedenti
A causa della limitazione della bassa produttività, il design su scala nanometrica non può essere utilizzato nel controllo della qualità della produzione, ma la microscopia a forza atomica lo rende possibile. Con la soluzione ad alto rendimento rilasciata da Park Systems, anche la microscopia a forza atomica è entrata nel campo della produzione online automatizzata. Ciò include un'innovativa funzione di sostituzione della sonda magnetica con una percentuale di successo del 99%, superiore alla tecnologia del vuoto convenzionale. Inoltre, l'ottimizzazione del processo e della produttività richiede la collaborazione attiva dei clienti per fornire dati grezzi completi.
Economicità senza precedenti
La precisione e l'elevata produttività delle misurazioni su nanoscala devono essere abbinate a soluzioni economicamente vantaggiose per passare dalla ricerca alle applicazioni di produzione nel mondo reale. Affrontando questa sfida in termini di costi, Park Systems ha portato una soluzione di microscopio a forza atomica di livello industriale per rendere le misurazioni automatizzate più veloci ed efficienti e rendere le sonde più durevoli! Abbiamo rinunciato al lento e costoso microscopio elettronico a scansione e siamo passati al microscopio a forza atomica 3D efficiente, automatizzato e conveniente per ridurre ulteriormente i costi di misurazione della produzione industriale online. Oggi i produttori hanno bisogno di informazioni 3D per caratterizzare i profili delle trincee e le variazioni delle pareti laterali per individuare con precisione i difetti nei nuovi progetti. La piattaforma AFM modulare consente una rapida sostituzione di hardware e software, rendendo gli aggiornamenti più convenienti e ottimizzando continuamente misure di controllo della qualità della produzione complesse e impegnative. Inoltre, le nostre sonde AFM durano almeno 2 volte di più, riducendo ulteriormente il costo di proprietà. Gli AFM tradizionali utilizzano la scansione del tocco, che rende la punta più soggetta all'usura, ma la nostra modalità True Non-Contact™ può proteggere efficacemente la punta e prolungarne la durata.
