Vantaggi della microscopia elettronica a scansione
1. Ingrandimento
Poiché la dimensione dello schermo fluorescente del microscopio elettronico a scansione è fissa, il cambio di ingrandimento viene realizzato modificando l'ampiezza di scansione del fascio di elettroni sulla superficie del campione.
Se la corrente della bobina di scansione viene ridotta, il raggio di scansione del fascio di elettroni sul campione verrà ridotto e l'ingrandimento verrà aumentato. La regolazione è molto comoda e può essere regolata continuamente da 20 volte a circa 200,000 volte.
2. Risoluzione
La risoluzione è il principale indice di performance del SEM.
La risoluzione è determinata dal diametro del fascio elettronico incidente e dal tipo di segnale di modulazione:
Minore è il diametro del fascio di elettroni, maggiore è la risoluzione.
Diversi segnali fisici utilizzati per l'imaging hanno risoluzioni diverse.
Ad esempio, gli elettroni SE e BE hanno diversi intervalli di emissione sulla superficie del campione e le loro risoluzioni sono diverse. Generalmente, la risoluzione di SE è di circa 5-10 nm e quella di BE è di circa 50-200 nm.
3. Profondità di campo
Si riferisce a una gamma di capacità che un obiettivo può mettere a fuoco e visualizzare contemporaneamente su varie parti di un campione con irregolarità.
La lente finale del microscopio elettronico a scansione adotta un piccolo angolo di apertura e una lunga lunghezza focale, quindi è possibile ottenere una grande profondità di campo, che è 100-500 volte maggiore di quella di un microscopio ottico generale e 10 volte maggiore di quello di un microscopio elettronico a trasmissione.
Grande profondità di campo, forte senso tridimensionale e forma realistica sono le caratteristiche eccezionali di SEM.
I campioni per SEM sono divisi in due categorie:
1 è un campione con buona conducibilità, che può generalmente mantenere la sua forma originale e può essere osservato al microscopio elettronico senza o con una piccola pulizia;
2. I campioni non conduttivi oi campioni che perdono acqua, degassano, si restringono e si deformano nel vuoto, devono essere opportunamente trattati prima di poter essere osservati.
