Quanti nanometri può vedere un microscopio confocale?
L'obiettivo della scienza dei materiali è studiare l'influenza della struttura superficiale di un materiale sulle sue proprietà superficiali. Pertanto, l'analisi della topografia superficiale ad alta risoluzione è importante per determinare i parametri relativi alla rugosità superficiale, alle proprietà riflettenti, alle proprietà tribologiche e alla qualità della superficie. Le tecniche confocali sono in grado di misurare materiali con una varietà di proprietà riflettenti superficiali e di ottenere dati di misurazione efficaci.
Il microscopio confocale laser, basato sul principio della tecnologia confocale, è uno strumento di ispezione per misurazioni su scala micro e nanometrica sulle superfici di diversi dispositivi e materiali di precisione. L'elevata risoluzione di misurazione raggiunge 0,5 nm.
Applicazioni
1. MEMS
Misurazione dimensionale di componenti micron e sub-micron, osservazione della morfologia superficiale dopo vari processi (sviluppo, attacco, metallizzazione, CVD, PVD, CMP, ecc.), analisi dei difetti.
2.Componenti meccanici di precisione, dispositivi elettronici
Misurazione dimensionale di componenti micron e sub-micron, osservazione della morfologia superficiale dopo vari processi di trattamento superficiale, processi di saldatura, analisi dei difetti, analisi delle particelle.
3.Semiconduttore/LCD
Osservazione della topografia superficiale dopo vari processi (sviluppo, incisione, metallizzazione, CVD, PVD, CMP, ecc.), analisi dei difetti Misurazione della larghezza delle linee senza contatto, della profondità dei gradini, ecc.
4. Tribologia, corrosione e altra ingegneria delle superfici
Misurazione del volume di segni di abrasione, misurazione della rugosità, topografia superficiale, corrosione e topografia superficiale dopo ingegneria superficiale submicronica.
Specifica tecnica
Modello: VT6100
Intervallo di corsa: 100 * 100 * 100 mm
Campo visivo: 120×120 μm~1,2×1,2 mm
Ripetibilità della misurazione dell'altezza (1σ): 12 nm
Precisione della misurazione dell'altezza: ± (0.2+L/100) μm
Risoluzione della misurazione dell'altezza: 0,5 nm
Ripetibilità della misurazione della larghezza (1σ): 40 nm
Precisione della misurazione della larghezza: ± 2%
Risoluzione della misurazione della larghezza: 1 nm
