Un'introduzione alle caratteristiche prestazionali del microscopio elettronico a scansione
Esistono vari tipi di microscopi elettronici a scansione e diversi tipi di microscopi elettronici a scansione hanno prestazioni diverse. Secondo il tipo di cannone elettronico, può essere suddiviso in tre tipi: cannone elettronico a emissione di campo, cannone a filo di tungsteno ed esaboruro di lantanio [5]. Tra questi, la microscopia elettronica a scansione di emissione di campo può essere suddivisa in microscopia elettronica a scansione di emissione di campo freddo e microscopia elettronica a scansione di emissione di campo termico in base alle prestazioni della sorgente luminosa. Il microscopio elettronico a scansione a emissione di campo freddo richiede condizioni di alto vuoto, la corrente del raggio è instabile, l'emettitore ha una breve durata e la punta dell'ago deve essere pulita regolarmente, il che è limitato a una singola osservazione dell'immagine e il campo di applicazione è limitato; mentre il microscopio elettronico a scansione di emissione di campo termico non è solo continuo, può funzionare a lungo e può anche essere combinato con una varietà di accessori per ottenere un'analisi completa. Nel campo della geologia, non solo dobbiamo osservare la morfologia preliminare del campione, ma dobbiamo anche analizzare altre proprietà del campione in combinazione con l'analizzatore, quindi il microscopio elettronico a scansione di emissione di campo termico è più ampiamente utilizzato.
Il microscopio elettronico a scansione (SEM) è un grande strumento di precisione per l'analisi della morfologia dei micro-domini ad alta risoluzione. Ha le caratteristiche di grande profondità di campo, alta risoluzione, imaging intuitivo, forte effetto stereoscopico, ampia gamma di ingrandimento e il campione da testare può essere ruotato e inclinato nello spazio tridimensionale. Inoltre, presenta i vantaggi di un'ampia varietà di campioni misurabili, quasi nessun danno e contaminazione del campione originale e acquisizione simultanea di morfologia, struttura, composizione e informazioni cristallografiche. Attualmente, la microscopia elettronica a scansione è stata ampiamente utilizzata nella ricerca microscopica nei campi delle scienze della vita, della fisica, della chimica, della giustizia, delle scienze della terra, della scienza dei materiali e della produzione industriale. , Sedimentologia, Geochimica, Gemmologia, Micropaleontologia, Astrogeologia, Geologia del petrolio e del gas, Geologia ingegneristica e Geologia strutturale, ecc.
Sebbene il microscopio elettronico a scansione sia una stella nascente nella famiglia dei microscopi, grazie ai suoi numerosi vantaggi, la velocità di sviluppo è molto elevata.
1. La risoluzione dello strumento è relativamente elevata e i dettagli di circa 6 nm sulla superficie del campione possono essere osservati attraverso l'immagine dell'elettrone secondario, che può essere ulteriormente migliorata a 3 nm utilizzando un cannone elettronico LaB6.
2 L'ingrandimento dello strumento ha una vasta gamma e può essere regolato continuamente. Pertanto, è possibile selezionare diversi campi visivi per l'osservazione in base alle esigenze e, allo stesso tempo, è possibile ottenere immagini nitide con elevata luminosità, difficilmente ottenibili con microscopi elettronici a trasmissione generici, anche ad alto ingrandimento.
3 L'osservazione del campione ha una grande profondità di campo, un ampio campo visivo e l'immagine è piena di tridimensionalità. Può osservare direttamente la superficie ruvida con grandi ondulazioni e l'immagine irregolare della frattura del metallo del campione, che fa sentire le persone come se fossero nel mondo microscopico.
4. La preparazione del campione è semplice. Finché il campione di blocco o polvere è leggermente elaborato o non elaborato, può essere posizionato direttamente nel microscopio elettronico a scansione per l'osservazione, quindi è più vicino allo stato naturale del materiale.
5 Può controllare e migliorare efficacemente la qualità dell'immagine attraverso metodi elettronici, come il mantenimento automatico della luminosità e del contrasto, la correzione dell'angolo di inclinazione del campione, la rotazione dell'immagine o migliorare la tolleranza del contrasto dell'immagine attraverso la modulazione Y e la luminosità e l'oscurità di varie parti dell'immagine Moderato. Utilizzando un dispositivo a doppio ingrandimento o un selettore di immagini, è possibile osservare contemporaneamente sullo schermo fluorescente immagini con diversi ingrandimenti.
6 per un'analisi completa. Installare uno spettrometro a raggi X a dispersione di lunghezza d'onda (WDX) o uno spettrometro a raggi X a dispersione di energia (EDX) in modo che abbia la funzione di una sonda elettronica e possa anche rilevare elettroni riflessi, raggi X, catodofluorescenza, elettroni trasmessi, elettronica Auger ecc. L'estensione dell'applicazione della microscopia elettronica a scansione a vari metodi di analisi microscopica e di microarea mostra la versatilità della microscopia elettronica a scansione. Inoltre, può anche analizzare la microregione facoltativa del campione osservando l'immagine topografica; installare l'accessorio portacampione semiconduttore e osservare direttamente la giunzione PN e i difetti microscopici nel transistor o nel circuito integrato attraverso l'amplificatore dell'immagine della forza elettromotrice. Poiché molte sonde elettroniche del microscopio elettronico a scansione hanno realizzato il controllo automatico e semiautomatico del computer elettronico, la velocità dell'analisi quantitativa è stata notevolmente migliorata.
