Vantaggi del microscopio elettronico a scansione
1. Fattore di ingrandimento
A causa della dimensione fissa dello schermo fluorescente del microscopio elettronico a scansione, la variazione dell'ingrandimento si ottiene modificando l'ampiezza di scansione del fascio di elettroni sulla superficie del campione.
Se la corrente della bobina di scansione viene ridotta, l'ampiezza di scansione del fascio di elettroni sul campione diminuirà e il fattore di amplificazione aumenterà. La regolazione è molto comoda e può essere regolata continuamente da 20x a circa 200.000 volte.
2. Risoluzione
La risoluzione è il principale indicatore delle prestazioni della microscopia elettronica a scansione.
La risoluzione è determinata dal diametro del fascio di elettroni incidente e dal tipo di segnale di modulazione Co-determinazione:
Minore è il diametro del fascio di elettroni, maggiore è la risoluzione.
I segnali fisici utilizzati per l'imaging variano in risoluzione.
Ad esempio, gli elettroni SE e BE hanno intervalli di emissione e risoluzioni diversi sulla superficie del campione. La risoluzione di SE è generalmente di circa 5-10 nm, mentre quella di BE è di circa 50-200 nm.
3. Profondità di campo
Si riferisce alla gamma di capacità di un obiettivo di mettere a fuoco e visualizzare simultaneamente varie parti di un campione irregolare.
La lente finale del microscopio elettronico a scansione utilizza una piccola apertura angolare e una lunga lunghezza focale, quindi è possibile ottenere una grande profondità di campo. È 100-500 volte più grande della profondità di campo del microscopio ottico generale e 10 volte più grande della profondità di campo del microscopio elettronico a trasmissione.
Le caratteristiche principali del SEM sono l'ampia profondità di campo, il forte senso tridimensionale e la morfologia realistica.
I campioni utilizzati per la microscopia elettronica a scansione si dividono in due categorie:
1 è un campione con buona conduttività, che generalmente può mantenere la sua forma originale e può essere osservato al microscopio elettronico senza o con una leggera pulizia;
2 è un campione non conduttivo o un campione con perdita di acqua, rilascio di gas o deformazione da ritiro nel vuoto, che deve essere trattato adeguatamente prima di poter effettuare l'osservazione.
